DOUE-L-2019-80632 Europeo Unión Europea Corrección (errores o erratas) Corrección de errores del Reglamento Delegado (UE) 2018/1922 de la Comisión, de 10 de octubre de 2018, que modifica el Reglamento (CE) nº 428/2009 del Consejo, por el que se establece un régimen comunitario de control de las exportaciones, la transferencia, el corretaje y el tránsito de productos de doble uso. Diario Oficial de la Unión Europea 20190416 105 L 67 67 /doue/2019/105/L00067-00067.pdf L N N N L Armas Exportaciones Industria del armamento Productos industriales Tecnología CORRECCIÓN de errores del Reglamento 2018/1922, de 10 de octubre CORRIGE errores del Reglamento 428/2009, de 5 de mayo Comercio Industria Seguridad y Defensa Tecnología e investigación

En la página 129, en la entrada 3B001.f, puntos 3 y 4, la estructura se modifica como sigue:

donde dice:

«3. Equipos diseñados especialmente para la fabricación de máscaras, que reúnan todas las características siguientes:

a. Un haz de electrones, un haz de iones o un haz “láser”, enfocado y desviable, y

b. Que posean cualquiera de las características siguientes:

  1. Un tamaño de anchura de altura media (FWHM) del haz en el impacto (spot) inferior a 65 nm y una colocación de imagen inferior a 17 nm (media + 3 sigma), o

  2. Sin uso

  3. Un error de recubrimiento de la segunda capa inferior a 23 nm (media + 3 sigma) de la máscara

  4. Equipos diseñados para el proceso de dispositivos, utilizando métodos de escritura directa, que reúnan todas las características siguientes:

   a. Un haz de electrones enfocado y desviable, y

   b. Que posean cualquiera de las características siguientes:

    1. Un tamaño mínimo del haz inferior o igual a 15 nm, o

    2. Un error de recubrimiento inferior a 27 nm (media + 3 sigma)»,

debe decir:

«3. Equipos diseñados especialmente para la fabricación de máscaras, que reúnan todas las características siguientes:

  a. Un haz de electrones, un haz de iones o un haz “láser”, enfocado y desviable, y

  b. Que posean cualquiera de las características siguientes:

   1. Un tamaño de anchura de altura media (FWHM) del haz en el impacto (spot) inferior a 65 nm y una colocación de imagen inferior a 17 nm (media + 3 sigma), o

   2. Sin uso

   3. Un error de recubrimiento de la segunda capa inferior a 23 nm (media + 3 sigma) de la máscara

   4. Equipos diseñados para el proceso de dispositivos, utilizando métodos de escritura directa, que reúnan todas las características siguientes:

    a. Un haz de electrones enfocado y desviable, y

    b. Que posean cualquiera de las características siguientes:

     1. Un tamaño mínimo del haz inferior o igual a 15 nm, o

     2. Un error de recubrimiento inferior a 27 nm (media + 3 sigma)».